氣相沉積爐整體結構采用井式碳化爐結構。主要由爐體係統、控製係統、真空係統、冷卻係統、進氣係統、過濾係統、操作平台等部分組成組成。 　　氣相沉積爐係統主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發熱體、引電體組成，爐殼為圓柱形結構，分爐體和爐頂蓋、爐底三部分，主要使用Q235鋼材，爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結構，夾層內設置蛇形導流板，既可以引導水流流向又可以加強爐體壁抗壓能力，爐體上設置電極座、測溫座。抽氣口位於爐頂蓋或爐體側壁上。 　　加熱及保溫層，發熱體采用帶式合金發熱體，分三個加熱區，三角形加熱，分布在爐腔四周;保溫層：采用全纖維爐襯複合保溫結構，既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能，成型後的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上，操作與維護非常方便。 　　氣相沉積爐的爐膽采用球吧体育app耐熱鋼，為保證球吧体育app真空下的工作強度，采用雙真空結構。爐膽內外同時抽真空，並設置手動及自動壓差閥。考慮真空放電現象，采用低電壓大電流的供電方式。

　　采用和購置真空燒結爐的廠家都了解，按設備是在真空環境中對被加熱物品進行保護性燒結的爐子。其加熱方式比較多，電阻加熱、感應加熱、微波加熱等。 　　真空燒結爐可快速升溫工藝要求;溫控切換器使用進口多段智能程序攝氏度操控儀操控，攝氏度操控切換器的穩定性、重複性十分可靠;變頻無級調速，不鏽鋼網帶傳送，全新的外觀設計理念，確保了產品平穩輸送。 　　利用中頻感應加熱的原理，真空燒結爐使處於線圈內的鎢坩堝產生球吧体育app，通過熱輻射傳導到工作上，適用於科研、軍工單位對難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結。 　　同時，在安裝時，按真空爐回充氣體係統圖將管路接至回充管路上，並建議提供純度為高純度氮氣作為回充氣體。按水冷係統圖，將進水管與排水管分別接到爐子的進、排水口上，提供壓力為0.1-0.15MPa，溫度不低於15℃，不高於30℃的水源，*提供循環水、防鏽水。真空爐爐體和控製箱均接地，接地電阻≤4歐，儀表和真空計的規管電纜也應接地。按電氣接線圖把電源接到相應的電接點上，校核電源電壓，連接控製箱，動力箱和爐體間的電線電纜。