氣相沉積爐設備組成
氣相沉積爐整體結構采用井式碳化爐結構。主要由爐體係統、控製係統、真空係統、冷卻係統、進氣係統、過濾係統、操作平台等部分組成組成。
氣相沉積爐係統主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發熱體、引電體組成,爐殼為圓柱形結構,分爐體和爐頂蓋、爐底三部分,主要使用Q235鋼材,爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結構,夾層內設置蛇形導流板,既可以引導水流流向又可以加強爐體壁抗壓能力,爐體上設置電極座、測溫座。抽氣口位於爐頂蓋或爐體側壁上。
加熱及保溫層,發熱體采用帶式合金發熱體,分三個加熱區,三角形加熱,分布在爐腔四周;保溫層:采用全纖維爐襯複合保溫結構,既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能,成型後的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上,操作與維護非常方便。
氣相沉積爐的爐膽采用球吧体育app耐熱鋼,為保證球吧体育app真空下的工作強度,采用雙真空結構。爐膽內外同時抽真空,並設置手動及自動壓差閥。考慮真空放電現象,采用低電壓大電流的供電方式。
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